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真空等離子處理儀在一定的真空條件下，對氣體施加能量使其成為等離子狀態，等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等，通過利用這些活性組分的性質高效清洗微觀和納米級別的表面污垢和有機物。通過使用等離子體處理樣品表面從而實現表面清潔，表面改性，表面刻蝕，表面接枝的目的，最后將污染物轉化為氣態，并通過真空泵用連續氣流將其排出等離子清洗儀